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當(dāng)前位置:首頁  >  技術(shù)文章

  • 2025

    4-11

    在當(dāng)今信息化高速發(fā)展的時(shí)代,半導(dǎo)體作為各類智能設(shè)備的核心元件,其制造工藝復(fù)雜而精細(xì),對工藝環(huán)境提出了要求。其中,氣體的精準(zhǔn)輸送與控制,是半導(dǎo)體工藝成敗的關(guān)鍵之一。作為氣體流量控制領(lǐng)域的專業(yè)企業(yè),易度智能以高性能MFC(質(zhì)量流量控制器)為核心,為半導(dǎo)體行業(yè)的多道核心工藝環(huán)節(jié)提供了高可靠性的解決方案。氣體流量控制在半導(dǎo)體工藝中的關(guān)鍵作用在半導(dǎo)體芯片的制造過程中,氣體被廣泛應(yīng)用于以下核心工藝中:化學(xué)氣相沉積(CVD):需將反應(yīng)氣體均勻注入反應(yīng)室,形成致密薄膜;等離子體刻蝕(Plas...

  • 2025

    4-9

    在現(xiàn)代工業(yè)和科研領(lǐng)域,質(zhì)量流量計(jì)(MassFlowMeter)是精確測量氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵設(shè)備。無論是半導(dǎo)體制造、燃料電池,還是環(huán)境監(jiān)測,質(zhì)量流量計(jì)都扮演著重要的角色。本文將深入解析質(zhì)量流量計(jì)的工作原理,幫助您理解這一精密儀器背后的科學(xué)邏輯。一、質(zhì)量流量計(jì)的核心概念質(zhì)量流量計(jì)的核心任務(wù)是測量流體(氣體或液體)的質(zhì)量流量,即單位時(shí)間內(nèi)通過某一截面的流體質(zhì)量。與體積流量不同,質(zhì)量流量不受溫度、壓力變化的影響,因此在需要高精度控制的場景中尤為重要。根據(jù)工作原理,質(zhì)量流量計(jì)主要...

  • 2025

    4-7

    氣體質(zhì)量流量控制器是配氣儀中的核心部件,可提供精確、穩(wěn)定的氣體流量控制,讓氣體混合、稀釋更便捷。易度MC系列質(zhì)量流量控制器(新款EC系列)采用層流壓差式原理,具有高可靠、高穩(wěn)定、高精度和高重復(fù)性的優(yōu)勢,同時(shí)在抗過載能力和抗污染能力上表現(xiàn)良好,助力配氣儀廠商實(shí)現(xiàn)更精準(zhǔn)的氣體濃度混合配比。應(yīng)用要求:配氣儀的氣體配比通常為100:1等,常見的有兩路甚至更多,一般兩路為一路標(biāo)氣,一路稀釋氣體。要實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)配氣,需要流量控制器在各流量點(diǎn)控制氣體準(zhǔn)確度高,重復(fù)性好,同時(shí)對壓力波動(dòng)不敏感。主...

  • 2025

    4-3

    不管是熱式質(zhì)量流量控制器,還是層流壓差式質(zhì)量流量控制器,都需要保證流速分布的穩(wěn)定,才可以測量控制更準(zhǔn)確,那么為什么熱式質(zhì)量流量控制器在安裝的時(shí)候?qū)τ谥惫芏斡幸欢ǖ囊?,層流壓差式質(zhì)量流量控制器卻不需要呢?這是由于熱式質(zhì)量流量控制器的工作原理是基于熱傳導(dǎo),流量計(jì)或流量控制器內(nèi)部并無整流元件。大多數(shù)熱式MFC采用旁路結(jié)構(gòu),主流量的一部分通過旁路,傳感器僅測量旁路中的流量,再通過比例關(guān)系推算總流量。若入口處存在劇烈湍流(如軟管、閥門、彎頭后方),主流量的流速分布可能嚴(yán)重不均。此時(shí),...

  • 2025

    4-2

    在呼吸機(jī)測試中,微流量氣體質(zhì)量流量控制器(Micro-FlowMassFlowController,MFC)是確保呼吸機(jī)性能和安全性的關(guān)鍵組件。一、微流量MFC在呼吸機(jī)測試中的作用精準(zhǔn)控制氣體流量呼吸機(jī)需在微升/分鐘(μL/min)至升/分鐘(L/min)范圍內(nèi)精確調(diào)節(jié)氣體流量,尤其是針對新生兒或小動(dòng)物等場景的低流量需求。MFC通過熱式或壓差式傳感技術(shù)實(shí)時(shí)測量流量,并通過閉環(huán)控制調(diào)整閥門開度,確保流量輸出與設(shè)定值一致。模擬不同呼吸模式在測試中需模擬潮氣量(TidalVolum...

  • 2025

    4-1

    質(zhì)量流量控制器(MFC)是氣相色譜(GC)系統(tǒng)中的核心組件,通過精確控制氣體流量確保分析結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。一、質(zhì)量流量控制器在GC中的作用載氣流量控制控制載氣(如H?、He、N?)的流速,確保色譜柱內(nèi)樣品分離的穩(wěn)定性和保留時(shí)間的重現(xiàn)性。檢測器氣體調(diào)節(jié)為火焰離子化檢測器(FID)等提供氫氣和空氣,優(yōu)化燃燒效率以提升靈敏度。多維色譜切換在多維GC中,通過多通道MFC實(shí)現(xiàn)不同色譜柱間的氣體切換與流量平衡。壓力/分流比控制在分流/不分流進(jìn)樣中,調(diào)節(jié)分流比,確保樣品均勻進(jìn)入色譜柱。...

  • 2025

    3-31

    層流壓差式質(zhì)量流量控制器因其快速響應(yīng)速度,在半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥、新能源等工業(yè)領(lǐng)域備受青睞。其快速響應(yīng)的核心機(jī)制源于壓力波傳播的物理特性、信號處理的高效性以及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的優(yōu)化。一、核心機(jī)理:壓力波的聲速傳播特性層流壓差式流量控制器的響應(yīng)速度與壓力波的傳播速度直接相關(guān)。當(dāng)流體流經(jīng)層流元件時(shí),其兩端的壓差信號通過壓力波傳遞至傳感器。壓力波本質(zhì)上是聲波的一種,傳播速度與聲速一致(約340-350m/s)。例如,若層流元件長度僅為1cm,壓力波傳遞時(shí)間可小于1毫秒。這一特性使得壓差信號...

  • 2025

    3-28

    層流壓差式質(zhì)量流量計(jì):精準(zhǔn)測量的革新力量在工業(yè)自動(dòng)化與精密制造蓬勃發(fā)展的今天,流量測量技術(shù)已成為生產(chǎn)控制的核心環(huán)節(jié)。層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)憑借其原理和高性能,正逐步成為高精度氣體流量測控領(lǐng)域的技術(shù)。一、技術(shù)原理:科學(xué)定律的精準(zhǔn)演繹層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)基于哈根-泊肅葉定律設(shè)計(jì),通過層流元件將湍流轉(zhuǎn)化為穩(wěn)定層流狀態(tài),利用壓差傳感器測量流體兩端的壓力差,結(jié)合溫度與壓力補(bǔ)償,直接計(jì)算質(zhì)量流量。其核心流程包括:層流整流:通過精密設(shè)計(jì)的層流元件,強(qiáng)制流體進(jìn)入層流狀態(tài),消除湍流干擾。壓差測量...

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